Nano Indenter G200X 微納米力學測試平臺

Nano Indenter G200X可提供納米級的力學測試功能，簡單易用，能夠精確進行各種力學定量分析。G200X系統(tǒng)中配置了高精度納米馬達樣品臺、最大的樣品安裝系統(tǒng)和高分辨率光學顯微鏡。InView軟件、InQuest控制器和InForce驅動器讓KLA全線壓痕產品系列具有一致的卓越性能。 G200X系統(tǒng)可選功能包括連續(xù)剛度測量(CSM)、掃描探針顯微成像、劃痕測試、動態(tài)力學分析頻率掃描，、IV電壓電流特性測試、超高速壓痕測試和沖擊測試等等。

描述

主要功能

  • 電磁驅動器可輕松實現載荷和位移的寬動態(tài)范圍的控制
  • 高分辨率光學顯微鏡與精密XYZ 移動系統(tǒng)結合，實現高精度觀察與定位測試樣本。
  • 便捷的樣本安裝臺與多樣本定位設置功能實現高通量測試。
  • 高度模塊化設計，設備提供掃描探針成像功能、劃痕及磨損測試功能、高溫納米力學測試功能、連續(xù)剛度測試(CSM) 和高速3D及4D力學圖譜等模塊化升級選件。
  • 直觀的用戶操作界面便于快速的進行測試設置；僅需點擊幾下鼠標即可完成復雜測試的參數設置。
  • 實時高效的實驗控制，簡單易用的測試流程開發(fā)和測試參數設置。
  • 全新的InView軟件，提供用于分析數據的Review軟件和生成各種綜合性測試報告的 InFocus軟件。
  • 獨家發(fā)明并獲得美國R&D獎的材料表面力學圖譜功能和高速測試功能，極大的提高了定量數據的可靠性。
  • InQuest高速數字控制器，數據采集速率最高可達100kHz，時間響應常數最快為20μs。